净化工程在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程公司所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
1、送风洁净度
首先是送风洁净度。在送风洁净度方面,要想达到要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。而净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。因此,应从洁净度要求考虑,以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则。
不过,要选择好过滤器还要全面考虑洁净室的特性、过滤器特性和净化系统特性。要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证运输、安装过程中不损坏过滤器,确保安装严密。
2、气流组织
其次是气流组织。洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将特别干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此,在设计气流组织时应考虑以下几个原则。
首先,尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;其次,尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。
3、送风量/风速
然后是送风量或风速。足够的通风换气量是为了稀释和排除室内污染空气。根据不同的洁净度要求,当洁净室净高较高时,可适当增加换气次数。其中,100万级洁净室的通风量按高中效净化系统考虑,其余均按高效净化系统考虑。当10万级洁净室高效过滤器集中布置在机房或系统末端采用亚高效过滤器时,可适当提高换气次数10-20%。
4、静压差
洁净室维持一定的正压是保证其不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少的条件之一。即便是负压洁净室,也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压,负压洁净室的洁净度才能得以维持。
据悉,维持洁净车间正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国设计规范规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小0.5mmH2O(~5Pa),洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH20(~l0Pa)。